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揭秘半導體領(lǐng)域是如何防靜電的
日期：2025-11-20 16:20
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摘要：揭秘半導體領(lǐng)域是如何防靜電的？?在半導體制造的整個流程里，靜電帶來的三大問題尤為突出，分別是微粒污染、靜電放電造成的器件損壞
揭秘半導體領(lǐng)域是如何防靜電的？在半導體制造的整個流程里，靜電帶來的三大問題尤為突出，分別是微粒污染、靜電放電造成的器件損壞，以及由此引發(fā)的設(shè)備停機。所以，對靜電進行有效控制勢在必行。國際半導體發(fā)展路線圖和 SEMI 標準都提出了建議，要將靜電控制在合適的水平。靜電控制方案包含接地、使用靜電耗散材料以及空氣電離化等方式。為了適應(yīng)半導體生產(chǎn)快速發(fā)展的需求，靜電耗散材料和空氣離子器也在不斷更新迭代。 在半導體器件生產(chǎn)車間，芯片一旦吸附灰塵，超大規(guī)模集成電路的產(chǎn)量就會大幅下降。雖然車間操作人員會穿著潔凈的工作服，但如果人體帶有靜電，就很容易吸附灰塵和污垢。這些灰塵和污垢被帶到操作現(xiàn)場后，會影響產(chǎn)品質(zhì)量，導致產(chǎn)品性能變差，成品率大幅降低。要是吸附的灰塵顆粒半徑大于線路寬度，且薄膜厚度較薄，產(chǎn)品就極有可能報廢。 因此，在加工、生產(chǎn)和包裝過程中，建立靜電保護系統(tǒng)是很有必要的。集成電路封裝生產(chǎn)線對靜電的要求更為嚴格。為了保證生產(chǎn)線正常運行，潔凈車間應(yīng)全部采用防靜電建筑材料進行裝修，所有進出潔凈車間的人員都要配備防靜電服裝等硬件防護措施。此外，包裝企業(yè)可以依據(jù)相關(guān)國家標準，并結(jié)合自身實際情況，制定企業(yè)內(nèi)部標準或具體的防靜電要求，以配合包裝生產(chǎn)線的正常運轉(zhuǎn)。 由于除塵防靜電設(shè)備種類繁多，選擇適合自身的產(chǎn)品主要取決于生產(chǎn)線的實際條件。以下介紹幾種兼具除塵和防靜電功能的裝置：
離子風機：主要作用是消除靜電，具有出色的防靜電性能，能防止靜電污染和破壞。適用于電子生產(chǎn)線，可避免靜電放電（ESD）現(xiàn)象，也是維修臺等個人型靜電防護區(qū)域（EPA）的理想設(shè)備。它專為局部區(qū)域設(shè)計，具有體積小、重量輕、安裝方便等特點。
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離子風棒：長度僅 180mm，卻能實現(xiàn) 600-800mm 范圍的靜電消除，適用于狹小空間對快速除靜電的需求。
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防靜電工作服：這是專為減少靜電危害而設(shè)計的防護服裝，采用導電纖維與滌綸混紡制成。它能將人體產(chǎn)生的靜電通過導電材質(zhì)快速釋放，避免靜電積累引發(fā)火花或吸附灰塵。
其優(yōu)點十分明顯：一是高效防靜電，能有效降低靜電放電對電子元件、半導體芯片等敏感產(chǎn)品的損害風險，保障生產(chǎn)質(zhì)量；二是防塵性好，面料致密且不易產(chǎn)生纖維脫落，可減少人體攜帶的灰塵進入潔凈車間，適合電子、醫(yī)藥等對環(huán)境潔凈度要求高的場景；三是穿著舒適，多數(shù)采用透氣面料，在具備防護性能的同時，也方便人體活動，適合長時間作業(yè)；四是通用性強，可根據(jù)不同行業(yè)的需求設(shè)計成連體服、分體服等樣式，滿足車間操作、實驗室工作等多種場景的防護需求。
